「Junkosha 流体移送チューブ『ハイバリアPFAチューブ』」をインナー素材に用いた世界初※の【ハイバリアPFAホース】をSEMICON Taiwan 2023で発表

※2023年7月 潤工社調べ

潤工社のハイバリアPFAチューブに柔軟性を持たせるため、特殊なスパイラル加工を施し、半導体製造プラント等の高純度薬品移送用ホースのインナー素材として採用。世界初の【ハイバリアPFAホース】としてSEMICON Taiwan 2023で発表されます。潤工社の素材技術とマノック工業株式会社様の独自の加工技術により実現した半導体製造プラント用の画期的な製品です。

一括二層成形で長寿命化を実現する「ハイバリアPFAチューブ」

フッ素ポリマーを使用したPFAチューブは、耐薬品性・耐熱性・耐寒性に優れ、半導体製造から宇宙産業、食品・製薬やヘルスケア・医療など広範な分野で活用されています。しかし、半導体製造設備の薬品配管でPFAチューブを長年にわたって使用すると、チューブの外側が白濁化する現象が報告されました。潤工社は、この現象の原因を突き止め、2004年にPFAチューブの外側にバリア性フッ素ポリマーを一括二層成形したハイバリアPFAチューブを開発しました。白濁化を防ぎ、チューブ自体を長寿命化させるとともに周辺環境の汚染を防止し、安全性を向上させています。

世界初の【ハイバリアPFAホース】

半導体製造産業向けに、高純度薬品用搬送容器や高純度薬品用タンクローリー、ISOタンクコンテナ、フッ素樹脂ケミカルホース等を提供する世界的なメーカーであるマノック工業株式会社様は、潤工社のハイバリアPFAチューブの優れた性能に注目。一方、半導体製造プラント等での高純度薬品移送用ホースの素材として採用する際、ハイバリアPFAチューブ等のフッ素チューブは硬く、そのままでは曲げた際にキンクする恐れがあるため、マノック工業株式会社様独自の加工技術によりハイバリアPFAチューブにスパイラル状の蛇腹加工を施し、柔軟性を確保。これをホースインナーに用いることで、世界初の【ハイバリアPFAホース】を開発しました。

長寿命化により環境への負荷を低減

【ハイバリアPFAホース】は、従来のPFAチューブを用いた移送用ホースに比べ、ホース内の塩酸や硝酸など透過性が高い腐食性薬液の浸透を抑制し、それにより環境への負荷を低減します。その結果、メンテナンスの頻度やそれに関わる人員を削減することができ、プラントのダウンタイムを削減できます。さらに、ホース自体の長寿命化により廃棄物削減に貢献できます。ハイバリアPFAチューブは、既に数多くの半導体ウェーハFAB、半導体材料プラントでの実績があり、高い信頼性を持っています。

SEMICON Taiwan 2023へご来場ください

マノック工業株式会社様は、2023年9月6日（水）～8日（金）に台北南港展覧館で開催されるマイクロエレクトロニクス製造のための世界的なイベントSEMICON Taiwan 2023にブースを出展します。そこで潤工社のハイバリアPFAチューブをインナーに採用した、世界初の【ハイバリアPFAホース】を展示いたします。SEMICON Taiwanは、業界トップの人々が訪れる、グローバルなテクノロジーの発展に欠かせない情報やリソースを発見できる展示会です。ぜひ、皆様もSEMICON Taiwan 2023のマノック工業株式会社様ブースにご来場ください。