5G、AI、自動運転、クラウドサービス、IoT、EV車、メタバースなどにより、半導体の需要が大きく伸びています。同時に、ムーアの法則に基づき、半導体露光では線幅が細くなる一方でプロセスの精密化が進み、プロセス中のパーティクルやアウトガスの問題が深刻化しています。特に、EUV露光装置やSEMなどの超高真空チャンバー内で使用されるケーブルは、クリーン性（低パーティクル、低アウトガス）の要求が最も厳しく、同時にステージに配線されるケーブルには高耐久性の両立も求められています。
潤工社では、これらの環境において設計されるケーブルの使用材料や、全ての製造工程及び梱包から出荷までクリーン性のデータを自社内で取得し、材料選定などの設計から製造、検査、梱包、出荷まで一貫したクリーンコンセプトの元、超低アウトガスケーブルを提供しています。ご使用環境や期待される寿命に応じて心数やシールドのカスタマイズが可能で、またご使用方法に応じてラウンド型とフラット型ケーブルのご提案も差し上げます。
潤工社では、これらの環境において設計されるケーブルの使用材料や、全ての製造工程及び梱包から出荷までクリーン性のデータを自社内で取得し、材料選定などの設計から製造、検査、梱包、出荷まで一貫したクリーンコンセプトの元、超低アウトガスケーブルを提供しています。ご使用環境や期待される寿命に応じて心数やシールドのカスタマイズが可能で、またご使用方法に応じてラウンド型とフラット型ケーブルのご提案も差し上げます。
特長
●アウトガス性：超高真空環境においてアウトガスの発生量は極めて微少です。
●柔軟性：フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●高耐久性：可動部においてお客様の期待する寿命に併せた提案が可能です。
●低摩擦性：他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。
●柔軟性：フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●高耐久性：可動部においてお客様の期待する寿命に併せた提案が可能です。
●低摩擦性：他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。
用途
●半導体製造におけるEUV露光装置、SEM、マスク検査装置、マスク描画装置
●人工衛星やその他宇宙機器
●人工衛星やその他宇宙機器
テクニカルデータ
パーティクルデータ
| 粒子数/ft³ | 速度 | ||
| 0.5 m/s | 1.0 m/s | 2.0 m/s | |
| 0.1μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 0.2μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 0.3μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 0.5μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 1.0μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 5.0μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
※Fraunhofer IPA社のデータをもとに作成。
構成する材料が同等製品での評価結果となります。
構成する材料が同等製品での評価結果となります。
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