Junkosha フラット&ハイフレックスケーブル

低アウトガスケーブル SLOタイプ

5G、AI、自動運転、クラウドサービス、IoT、EV車、メタバースなどにより、半導体の需要が大きく伸びています。同時に、ムーアの法則に基づき、半導体露光では線幅が細くなる一方でプロセスの精密化が進み、プロセス中のパーティクルやアウトガスの問題が深刻化しています。特に、EUV露光装置やSEMなどの超高真空チャンバー内で使用されるケーブルは、クリーン性(低パーティクル、低アウトガス)の要求が最も厳しく、同時にステージに配線されるケーブルには高耐久性の両立も求められています。
潤工社では、これらの環境において設計されるケーブルの使用材料や、全ての製造工程及び梱包から出荷までクリーン性のデータを自社内で取得し、材料選定などの設計から製造、検査、梱包、出荷まで一貫したクリーンコンセプトの元、超低アウトガスケーブルを提供しています。ご使用環境や期待される寿命に応じて心数やシールドのカスタマイズが可能で、またご使用方法に応じてラウンド型とフラット型ケーブルのご提案も差し上げます。

特長

●アウトガス性:超高真空環境においてアウトガスの発生量は極めて微少です。
●柔軟性:フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●高耐久性:可動部においてお客様の期待する寿命に併せた提案が可能です。
●低摩擦性:他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。

用途

●半導体製造におけるEUV露光装置、SEM、マスク検査装置、マスク描画装置
●人工衛星やその他宇宙機器

テクニカルデータ

  ラウンドタイプ フラットタイプ フラットタイプ
FPC代替
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シース材料 EPTFE&フッ素ポリマー EPTFE&フッ素ポリマー EPTFE&フッ素ポリマー
シース色
コア 信号,電力 信号,電力,空気,流体 信号,電力
最大自立長 [mm (inch)] - 600(24) a) -
最大ケーブル幅 [mm (inch)] - 90 40
最小曲げ半径 > 10 × ケーブル外径 a) > 10 × ケーブル外径 a) > 10 × ケーブル外径 a)
最大加速度[m/sec2] b) - 25 a) -
速度 [m/sec] - >3 a) -
屈曲寿命(曲げR 50 mm、最大 4G 加速度の場合) - >3,000万回 a) -
使用温度範囲 [℃] –20 to +200 a) –20 to +200 a) –20 to +200 a)
パーティクル b) (ISO14644-1) - Class1 Class1
アウトガス[mBar x l/sec × cm2]
H2O (AMU 18) c) 6.6E-10 d) 3.3E-10 3.3E-10
CxHyv (揮発性CxHy) (AMU 45-100) c) 1.5E-12 3.6E-12 3.6E-12
CxHynv (不揮発性CxHy) (AMU 101-200) c) 1.1E-13 3.3E-13 3.3E-13
パーティクルフリー対応可否 対応可能 対応可能 対応可能
UL規格 a) UL対応品あり UL対応品あり -
a) アプリケーション要件に応じて異なります。
b) データに関するご質問はお問い合わせ よりお願い致します。
c) AMU = Atomic Mass Units
d) 検出限界

パーティクルデータ

粒子数/ft³速度
0.5 m/s1.0 m/s2.0 m/s
0.1μm0.00.00.0
0.2μm0.00.00.0
0.3μm0.00.00.0
0.5μm0.00.00.0
1.0μm0.00.00.0
5.0μm0.00.00.0
Swiper
※Fraunhofer IPA社のデータをもとに作成。
 構成する材料が同等製品での評価結果となります。
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